半導(dǎo)體專(zhuān)用螺桿真空泵

半導(dǎo)體專(zhuān)用螺桿真空泵特征特點(diǎn)：

1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊：對(duì)旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單，非?？煽?。

2. 抽氣腔原件無(wú)摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。

3. 使用壽命長(zhǎng)：由于腔內(nèi)部部件之間不摩擦，潤(rùn)滑油在非氣體過(guò)流部分部件中循環(huán)。

4. 真空度高：?jiǎn)闻_(tái)螺桿干式真空泵可替代三級(jí)羅茨泵水環(huán)真空機(jī)組。

5. 無(wú)污染：無(wú)需任何工作介質(zhì)，因此無(wú)油污染，無(wú)污水。

6. 噪音低：一般情況下為80分貝左右。

7. 適宜抽可凝性氣體（如水蒸氣等）、含粉塵的氣體。

8. 從大氣抽至極限壓力5Pa，只要一臺(tái)泵就能解決。

9. 干式運(yùn)行，溶酶回收更容易。

10. 潤(rùn)滑油在兩端，因此無(wú)油耗。

11. 可與羅茨泵組成真空系統(tǒng)，獲得更高的極限真空度和增大抽速。

12. 可與分子泵組成真空系統(tǒng)，真正達(dá)到無(wú)油環(huán)境。

13. 獨(dú)有自動(dòng)控制系統(tǒng)，使泵更加安全、可靠、方便使用。

14. 螺桿端面型線是等距單頭轉(zhuǎn)子型線，穩(wěn)定性極高，適應(yīng)范圍廣。

15. 進(jìn)氣口標(biāo)配單向截止閥，防止氣體回流，保護(hù)反應(yīng)釜內(nèi)的物質(zhì)。

16. 出氣口標(biāo)配消音器件，無(wú)需客戶(hù)另外購(gòu)買(mǎi)。

17. 提供二種防腐蝕材料選擇：鎳磷合金、特氟龍。

18. 獨(dú)特自主研發(fā)的高科技的自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作方便、簡(jiǎn)單、可靠、安全。

19. 使用成本極低：和傳統(tǒng)真空泵相比，螺桿真空泵不使用真空泵油、水或其它液體作為介質(zhì)，使用成本極低，也不污染環(huán)境。

20. 幾乎不須維修：由于螺桿泵的結(jié)構(gòu)特別簡(jiǎn)單，所以螺桿泵在使用中非?？煽?。只要進(jìn)行正常定期保養(yǎng)，維修的概率很低。配上本公司獨(dú)有的自控系統(tǒng)，可以有效消除螺桿的積碳、積垢、長(zhǎng)時(shí)間不用后容易卡死等現(xiàn)象。

半導(dǎo)體專(zhuān)用螺桿真空泵參數(shù)：

型號(hào)：PNK DSP 0460

額定流量：460m³/h

極限壓力：1Pa

電機(jī)功率：15kw

轉(zhuǎn)速：2900/3500rpm

噪音：75dB(A)

吸氣口：80mm

排氣口：65mm

冷卻水量：15-20L

空溫：0-50℃

操作濕度：90%RH

安裝圖

曲線圖

東莞市普諾克真空科技有限公司坐落在中國(guó)制造名城----東莞，是一家集旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵及真空應(yīng)用成套設(shè)備的專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家。

公司技術(shù)力量雄厚，工藝設(shè)備先進(jìn)，產(chǎn)品質(zhì)量上乘，配套齊全，是指引國(guó)內(nèi)真空潮流的專(zhuān)業(yè)廠家。公司擁有真空泵，真空設(shè)備設(shè)計(jì)專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員，并不斷吸收先進(jìn)的技術(shù)與人才。具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)和制造工藝技術(shù)，擁有專(zhuān)業(yè)的真空設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)中心，致力于開(kāi)發(fā)，生產(chǎn)適應(yīng)市場(chǎng)需求的新一代產(chǎn)品。

同時(shí)，公司擁有先進(jìn)的真空產(chǎn)品生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備，并積極引進(jìn)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的制造工藝和技術(shù)及高品質(zhì)的制造設(shè)備。借助計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)及計(jì)算機(jī)管理系統(tǒng)，利用公司多年的經(jīng)驗(yàn)積累和技術(shù)創(chuàng)新，可全面的為產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)服務(wù)。并可為客戶(hù)提供便捷的真空系統(tǒng)解決方案。

公司嚴(yán)格奉行科技創(chuàng)新，顧客至上，質(zhì)量有保障，誠(chéng)信守約的質(zhì)量方針，竭誠(chéng)為廣大用戶(hù)提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和高品質(zhì)的服務(wù)。

公司熱忱歡迎海內(nèi)外的各界朋友蒞臨指導(dǎo)，攜手共進(jìn)！

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